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干式螺桿真空泵現狀與瞻望

2018-04-09  來自: 山東新(xin)莆京真空技術有限公司(si) 瀏(liu)覽次數:931

目前各種(zhong)真(zhen)(zhen)空泵(beng)的(de)發展愈來愈受(shou)到真(zhen)(zhen)空應用場合的(de)影響,一般(ban)的(de)真(zhen)(zhen)空系統無法滿足清潔無油(you)的(de)耐(nai)腐蝕的(de)要(yao)求(qiu),因此近(jin)年來干式真(zhen)(zhen)空泵(beng)市(shi)場需求(qiu)量(liang)很大,真(zhen)(zhen)空獲得產品(pin)已經(jing)出(chu)現更新換代的(de)局(ju)面,大量(liang)的(de)有(you)油(you)真(zhen)(zhen)空系統已經(jing)被無油(you)清潔的(de)真(zhen)(zhen)空系統所代替。

國外(wai)(wai)幾乎(hu)每(mei)一家較大的(de)(de)真空公司都(dou)生產(chan)各種不同(tong)型式(shi)的(de)(de)干式(shi)真空泵。螺桿真空泵屬于(yu)非接觸型干式(shi)泵,是(shi)20世紀(ji)90年代(dai)初期出現的(de)(de)一種理想的(de)(de)泵種,以其(qi)抽速(su)范圍寬、結構簡(jian)單緊湊、抽氣腔元件無(wu)摩擦、壽命長、能耗低、無(wu)油(you)污染等優點占據市場,但其(qi)制(zhi)造(zao)技術大部分為國外(wai)(wai)掌握,我國尚(shang)處于(yu)起步階段,市場對于(yu)干式(shi)泵有

目前各(ge)種(zhong)真(zhen)(zhen)空泵的(de)(de)(de)發展愈(yu)來愈(yu)受到真(zhen)(zhen)空應用場合(he)的(de)(de)(de)影響,一般的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空系統(tong)無(wu)法(fa)滿足(zu)清潔(jie)無(wu)油的(de)(de)(de)耐腐蝕的(de)(de)(de)要求(qiu)(qiu),因此近年來干式真(zhen)(zhen)空泵市場需求(qiu)(qiu)量很大,真(zhen)(zhen)空獲得產品已經出現更新換代的(de)(de)(de)局面,大量的(de)(de)(de)有油真(zhen)(zhen)空系統(tong)已經被(bei)無(wu)油清潔(jie)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空系統(tong)所(suo)代替。

國(guo)外(wai)幾乎每一(yi)家較大的(de)真空(kong)(kong)公(gong)司都生產各種(zhong)(zhong)不同(tong)型式(shi)的(de)干(gan)式(shi)真空(kong)(kong)泵。螺桿真空(kong)(kong)泵屬于(yu)非接觸型干(gan)式(shi)泵,是20世紀90年代初(chu)期出現的(de)一(yi)種(zhong)(zhong)理(li)想的(de)泵種(zhong)(zhong),以其(qi)抽(chou)速范圍寬、結構簡單(dan)緊(jin)湊(cou)、抽(chou)氣(qi)腔元件無摩(mo)擦、壽命(ming)長(chang)、能耗(hao)低、無油污染等優點占據市(shi)場(chang),但(dan)其(qi)制(zhi)造(zao)技術大部分為國(guo)外(wai)掌握,我(wo)國(guo)尚處于(yu)起步(bu)階(jie)段,市(shi)場(chang)對于(yu)干(gan)式(shi)泵有


干式真空泵的現狀

干式螺(luo)(luo)桿(gan)真空(kong)泵由(you)于其優(you)越的(de)性能,在(zai)(zai)歐美和日本目前已經(jing)成為(wei)微(wei)電子、半導體、制(zhi)藥(yao)、精(jing)密加工等行業真空(kong)獲得(de)設備。日本在(zai)(zai)螺(luo)(luo)桿(gan)壓縮機基(ji)礎上,很早(zao)就研(yan)發(fa)出了真空(kong)泵的(de)多頭轉(zhuan)子型(xing)線并投入市場。德國幾(ji)家真空(kong)設備公司(si)也逐(zhu)步開發(fa)出了等螺(luo)(luo)距、變螺(luo)(luo)距轉(zhuan)子型(xing)線,并在(zai)(zai)轉(zhuan)子和機體冷卻方面做了很多研(yan)究。

螺桿泵的技術關鍵問題:

干式(shi)螺(luo)桿泵的結構:

螺(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)真空泵(beng)結構(gou)主(zhu)要由螺(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)轉(zhuan)子(zi)、殼(ke)體(ti)(ti)、冷卻(que)循環(huan)和密封(feng)材料(liao)構(gou)成。傳動軸連接(jie)(jie)主(zhu)動轉(zhuan)子(zi),通過(guo)同步齒輪帶動從動轉(zhuan)子(zi)的(de)旋轉(zhuan),在(zai)殼(ke)體(ti)(ti)上開有冷卻(que)水通道,用(yong)(yong)(yong)來冷卻(que)轉(zhuan)子(zi)和排氣口溫度,同步齒輪及軸承(cheng)用(yong)(yong)(yong)油潤滑。軸承(cheng)和殼(ke)體(ti)(ti)內部通過(guo)密封(feng)件來密封(feng)以(yi)達到(dao)無油的(de)效果。干式(shi)螺(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)真空泵(beng)同無油螺(luo)(luo)(luo)桿(gan)(gan)壓(ya)縮機(ji)在(zai)密封(feng)和潤滑上結構(gou)類似。一般(ban)真空泵(beng)的(de)排氣端用(yong)(yong)(yong)機(ji)械式(shi)密封(feng)件,進氣側通常用(yong)(yong)(yong)雙唇形密封(feng)件。在(zai)傳動方式(shi)上,目前(qian)通用(yong)(yong)(yong)的(de)是(shi)直連電機(ji),用(yong)(yong)(yong)連軸器與轉(zhuan)子(zi)連接(jie)(jie),極少數用(yong)(yong)(yong)皮帶或(huo)者(zhe)鏈傳動。

等(deng)螺距螺桿泵(beng)由于(yu)無內壓縮過程(cheng),排氣溫度(du)非常高(110度(du)左右),如果冷(leng)(leng)卻(que)效(xiao)(xiao)果不好,會造成(cheng)轉子(zi)和機(ji)(ji)殼(ke)變形,影響抽泣效(xiao)(xiao)果,所以(yi)冷(leng)(leng)卻(que)機(ji)(ji)殼(ke)是必不可(ke)少的(de)一個(ge)環(huan)節,水(shui)冷(leng)(leng)是常見的(de)方(fang)法。在(zai)機(ji)(ji)殼(ke)本體(ti),軸承外(wai)側通冷(leng)(leng)卻(que)水(shui),可(ke)以(yi)達(da)到冷(leng)(leng)卻(que)殼(ke)體(ti)進而冷(leng)(leng)卻(que)轉子(zi)的(de)目的(de)。萊寶(bao)公司在(zai)轉子(zi)內部通水(shui)冷(leng)(leng)卻(que),增加轉子(zi)壽命,并達(da)到很好的(de)冷(leng)(leng)卻(que)效(xiao)(xiao)果。但是該(gai)種結構設計(ji)(兩段(duan)式),需要(yao)一定(ding)的(de)技術及(ji)加工水(shui)平支撐。

用(yong)水冷(leng)有(you)時不(bu)能(neng)達到冷(leng)卻(que)(que)(que)效果,因而通常在(zai)(zai)靠近(jin)排(pai)氣(qi)(qi)端轉(zhuan)子附近(jin)通冷(leng)卻(que)(que)(que)氣(qi)(qi)體(多為氮氣(qi)(qi))。現在(zai)(zai)國外(wai)的主流螺(luo)桿真空泵都采用(yong)這(zhe)(zhe)種(zhong)方法(fa)。這(zhe)(zhe)種(zhong)方法(fa)有(you)幾個好(hao)處:,能(neng)冷(leng)卻(que)(que)(que)轉(zhuan)子的機殼,降低排(pai)氣(qi)(qi)溫度;第二,當氣(qi)(qi)體內含有(you)顆粒物(wu)時,能(neng)防止顆粒物(wu)沉積或(huo)者(zhe)發(fa)生化學反應引起(qi)爆炸。

國內外公司生產干式真空泵的概況

(1)塔海爾(er)公司(si)的(de)(de)(de)KDP、SDV系(xi)列(lie)螺桿(gan)(gan)(gan)真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)。塔海爾(er)公司(si)收購了(le)凱尼(ni)真空(kong)(kong)公司(si)。凱尼(ni)是(shi)(shi)美(mei)國歷悠久(jiu)的(de)(de)(de)從事真空(kong)(kong)獲得設(she)備的(de)(de)(de)專業制(zhi)造(zao)公司(si),在螺桿(gan)(gan)(gan)真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)制(zhi)造(zao)方面也是(shi)(shi)處于(yu)地位(wei)。KDP系(xi)列(lie)為(wei)等螺距轉(zhuan)子的(de)(de)(de)真空(kong)(kong)泵(beng)(beng),SDV為(wei)變螺距螺桿(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng),二(er)者均為(wei)水冷系(xi)統,風冷系(xi)統可選擇。SDV是(shi)(shi)在KDP基礎上進(jin)行的(de)(de)(de)改(gai)進(jin),變螺距螺桿(gan)(gan)(gan)泵(beng)(beng)能實(shi)現(xian)氣體內部壓縮,使排氣溫(wen)度降低,同比(bi)等螺距節(jie)能30%。在轉(zhuan)子上采用(yong)NiFlon涂層(ceng),即(ji)層(ceng)為(wei)Ni,第二(er)層(ceng)為(wei)PFA。即(ji)使PFA磨損了(le),Ni層(ceng)也能實(shi)現(xian)防(fang)腐(fu)蝕,同時采用(yong)Kalrez全氟(fu)化橡膠密封圈。SDV系(xi)列(lie)是(shi)(shi)凱尼(ni)公司(si)主推(tui)的(de)(de)(de)螺桿(gan)(gan)(gan)真空(kong)(kong)泵(beng)(beng)。

(2)德國(guo)萊寶公司在(zai)2002年(nian)底正式推出(chu)的(de)(de)SREWTINE系列螺桿式無油壓縮真空泵是(shi)一種專(zhuan)門為工業應(ying)用(yong)(非半(ban)導體(ti)應(ying)用(yong))設計的(de)(de)干(gan)式泵,它是(shi)一種全新的(de)(de)設計,是(shi)專(zhuan)門用(yong)來解(jie)決工業應(ying)用(yong)中艱(jian)苦(ku)的(de)(de)真空問(wen)題(ti)。如粉(fen)塵(chen)(chen)、焦(jiao)油等。此(ci)泵也是(shi)采(cai)用(yong)變(bian)螺距(ju)轉子(zi),有內(nei)壓縮過程,泵腔(qiang)內(nei)沒有內(nei)部閥門,因而耐(nai)粉(fen)塵(chen)(chen)和焦(jiao)油能力強,此(ci)泵的(de)(de)螺桿采(cai)用(yong)內(nei)部中空冷卻,可以降低(di)轉子(zi)溫度和熱(re)變(bian)形,因此(ci)螺桿壽命延長。

(3)德國普旭公司的(de)(de)COBRAN系(xi)列螺桿泵(beng),是制(zhi)造工藝(yi)的(de)(de)真(zhen)空泵(beng),特別適用于化工和(he)制(zhi)藥(yao)行業的(de)(de)各工藝(yi)流程。普旭是世界上大的(de)(de)真(zhen)空泵(beng)、鼓風機和(he)壓(ya)縮(suo)機的(de)(de)供應商之一,真(zhen)空泵(beng)的(de)(de)質量較高,相比其他廠(chang)家,在歐(ou)洲市(shi)場占有率極高,價格偏貴。

(4)德國(guo)里奇樂的(de)VSA/VSB系(xi)列。VSA為等螺距轉子(zi),市場(chang)評價較好,性能穩定。VSB系(xi)列事變螺距轉子(zi)設計(ji)(非(fei)線型齒形設計(ji)),同(tong)其他(ta)幾家(jia)一樣,通過內壓縮來改(gai)變泵(beng)的(de)功耗和(he)排氣(qi)溫度,不用兩級壓縮中(zhong)間(jian)冷(leng)卻,單級即可實現很高的(de)真(zhen)空度。在密封(feng)件上作(zuo)了改(gai)進,靜態密封(feng)元件優選PTFE或者添加有PTFE的(de)密封(feng)件,動態密封(feng)元件在真(zhen)空泵(beng)吸入側用雙密封(feng)唇,真(zhen)空泵(beng)排氣(qi)側用簡單的(de)帶有防止氣(qi)體(ti)外溢的(de)密封(feng)圈,以防固體(ti)物質進入泵(beng)內。

(5)日本的(de)(de)生產商。日本是應用螺桿真(zhen)空泵非常多的(de)(de),半(ban)導體和LCD行業應用廣泛,大晃(huang)株式會社的(de)(de)吉(ji)村將士等很早就在(zai)單(dan)頭等螺桿轉子(zi)方(fang)面申請了專(zhuan)利,在(zai)轉子(zi)上作了深(shen)入的(de)(de)研(yan)究(jiu)。日立公(gong)司早期也作過螺桿泵方(fang)面的(de)(de)研(yan)究(jiu)。

3研究瞻望:

干式螺桿真空(kong)泵國內的(de)(de)研究還(huan)處(chu)在起始階段,很多技術(shu)(shu)難(nan)題還(huan)沒有(you)解決。比如(ru)轉子(zi)涂層防腐(fu)蝕(shi)技術(shu)(shu),降低排(pai)氣口的(de)(de)溫度,增大轉子(zi)面積利用率等問題仍然很棘手,當抽取一些活潑氣體(ti)時(shi),由于排(pai)氣溫度高,性(xing)也(ye)是需要(yao)(yao)設計中考(kao)慮的(de)(de),用在需要(yao)(yao)控制(zhi)音量的(de)(de)場合,如(ru)何降噪也(ye)要(yao)(yao)成為研究方向,但其(qi)優(you)越的(de)(de)性(xing)能(neng)決定(ding)了它一定(ding)會在真空(kong)獲得設備行業(ye)占(zhan)主(zhu)導地(di)位(wei),就像現在螺桿壓縮機(ji)在行業(ye)內的(de)(de)統治地(di)位(wei)一樣。

干式真空泵的現狀

干(gan)式螺桿(gan)真(zhen)空(kong)泵由于(yu)其(qi)優越(yue)的性能,在歐美和日(ri)本(ben)目前已經(jing)成為微電子(zi)(zi)、半導(dao)體、制(zhi)藥(yao)、精密加工等行業真(zhen)空(kong)獲得設(she)備(bei)。日(ri)本(ben)在螺桿(gan)壓縮機(ji)基礎上,很(hen)早就研發出了真(zhen)空(kong)泵的多(duo)(duo)頭轉(zhuan)子(zi)(zi)型(xing)線并投入市場。德國(guo)幾家真(zhen)空(kong)設(she)備(bei)公司(si)也逐步開發出了等螺距(ju)、變螺距(ju)轉(zhuan)子(zi)(zi)型(xing)線,并在轉(zhuan)子(zi)(zi)和機(ji)體冷卻方(fang)面做了很(hen)多(duo)(duo)研究(jiu)。

螺桿泵的技術關鍵問題:

干(gan)式螺桿泵的結構:

螺(luo)(luo)桿真(zhen)空(kong)(kong)泵結(jie)構主要由螺(luo)(luo)桿轉子(zi)(zi)、殼體(ti)(ti)、冷(leng)卻循環(huan)和(he)(he)密(mi)封(feng)材(cai)料構成。傳(chuan)動軸連(lian)(lian)接主動轉子(zi)(zi),通(tong)(tong)(tong)過(guo)同(tong)(tong)步齒(chi)輪帶動從動轉子(zi)(zi)的旋(xuan)轉,在殼體(ti)(ti)上開有冷(leng)卻水(shui)通(tong)(tong)(tong)道,用(yong)來冷(leng)卻轉子(zi)(zi)和(he)(he)排氣口溫度,同(tong)(tong)步齒(chi)輪及軸承用(yong)油潤滑。軸承和(he)(he)殼體(ti)(ti)內部通(tong)(tong)(tong)過(guo)密(mi)封(feng)件來密(mi)封(feng)以達到無油的效(xiao)果。干(gan)式(shi)螺(luo)(luo)桿真(zhen)空(kong)(kong)泵同(tong)(tong)無油螺(luo)(luo)桿壓縮機(ji)在密(mi)封(feng)和(he)(he)潤滑上結(jie)構類似。一般真(zhen)空(kong)(kong)泵的排氣端用(yong)機(ji)械式(shi)密(mi)封(feng)件,進氣側通(tong)(tong)(tong)常用(yong)雙唇形(xing)密(mi)封(feng)件。在傳(chuan)動方式(shi)上,目前通(tong)(tong)(tong)用(yong)的是直連(lian)(lian)電機(ji),用(yong)連(lian)(lian)軸器與轉子(zi)(zi)連(lian)(lian)接,極少數用(yong)皮帶或者鏈傳(chuan)動。

等螺(luo)距(ju)螺(luo)桿(gan)泵由于無內壓縮過程,排氣(qi)溫度非常高(110度左右),如果(guo)冷(leng)卻(que)(que)效(xiao)果(guo)不(bu)好,會造成轉(zhuan)子和機殼變形,影響(xiang)抽泣(qi)效(xiao)果(guo),所(suo)以(yi)冷(leng)卻(que)(que)機殼是(shi)必不(bu)可少的(de)一個(ge)環節,水冷(leng)是(shi)常見的(de)方法。在(zai)機殼本體(ti)(ti),軸承(cheng)外側通冷(leng)卻(que)(que)水,可以(yi)達(da)到冷(leng)卻(que)(que)殼體(ti)(ti)進而(er)冷(leng)卻(que)(que)轉(zhuan)子的(de)目的(de)。萊寶公司在(zai)轉(zhuan)子內部通水冷(leng)卻(que)(que),增加(jia)轉(zhuan)子壽(shou)命,并達(da)到很好的(de)冷(leng)卻(que)(que)效(xiao)果(guo)。但是(shi)該種結構設計(兩段式(shi)),需要一定的(de)技(ji)術及加(jia)工水平支撐。

用水冷(leng)(leng)有(you)時不能(neng)(neng)達到(dao)冷(leng)(leng)卻效果(guo),因(yin)而通(tong)常(chang)在靠近排氣(qi)端轉子附近通(tong)冷(leng)(leng)卻氣(qi)體(ti)(多為氮氣(qi))。現在國外的(de)主流(liu)螺桿真空(kong)泵都采用這種方(fang)法。這種方(fang)法有(you)幾個好處:,能(neng)(neng)冷(leng)(leng)卻轉子的(de)機殼,降低排氣(qi)溫(wen)度(du);第(di)二,當氣(qi)體(ti)內含有(you)顆粒(li)物(wu)時,能(neng)(neng)防止顆粒(li)物(wu)沉積或者發生化學(xue)反(fan)應引起爆炸。

國內外公司生產干式真空泵的概況

(1)塔海爾公(gong)司的(de)KDP、SDV系(xi)列(lie)螺(luo)桿(gan)真空(kong)泵。塔海爾公(gong)司收購了凱(kai)尼(ni)真空(kong)公(gong)司。凱(kai)尼(ni)是(shi)美國歷悠久的(de)從事真空(kong)獲得設備的(de)專業制造(zao)公(gong)司,在螺(luo)桿(gan)真空(kong)泵制造(zao)方面也是(shi)處(chu)于(yu)地位。KDP系(xi)列(lie)為等螺(luo)距(ju)(ju)轉(zhuan)子的(de)真空(kong)泵,SDV為變螺(luo)距(ju)(ju)螺(luo)桿(gan)泵,二者均(jun)為水冷(leng)系(xi)統,風冷(leng)系(xi)統可選擇。SDV是(shi)在KDP基礎上進(jin)行的(de)改進(jin),變螺(luo)距(ju)(ju)螺(luo)桿(gan)泵能實現氣體內部壓(ya)縮(suo),使排(pai)氣溫度降(jiang)低,同(tong)比等螺(luo)距(ju)(ju)節能30%。在轉(zhuan)子上采用NiFlon涂層(ceng),即(ji)層(ceng)為Ni,第(di)二層(ceng)為PFA。即(ji)使PFA磨(mo)損了,Ni層(ceng)也能實現防(fang)腐蝕,同(tong)時采用Kalrez全氟(fu)化橡膠密封圈。SDV系(xi)列(lie)是(shi)凱(kai)尼(ni)公(gong)司主(zhu)推(tui)的(de)螺(luo)桿(gan)真空(kong)泵。

(2)德國(guo)萊寶公司在2002年底正(zheng)式推出的(de)(de)SREWTINE系列螺桿式無(wu)油壓(ya)縮(suo)真空(kong)(kong)泵是(shi)一種專門(men)(men)為(wei)工(gong)(gong)業(ye)應(ying)(ying)用(yong)(非半導體應(ying)(ying)用(yong))設計(ji)的(de)(de)干式泵,它是(shi)一種全新的(de)(de)設計(ji),是(shi)專門(men)(men)用(yong)來解決工(gong)(gong)業(ye)應(ying)(ying)用(yong)中艱(jian)苦(ku)的(de)(de)真空(kong)(kong)問(wen)題(ti)。如粉塵、焦油等。此泵也是(shi)采(cai)用(yong)變(bian)螺距轉子,有內壓(ya)縮(suo)過程,泵腔(qiang)內沒(mei)有內部(bu)閥門(men)(men),因而(er)耐粉塵和焦油能力強,此泵的(de)(de)螺桿采(cai)用(yong)內部(bu)中空(kong)(kong)冷卻,可(ke)以降低轉子溫度和熱變(bian)形,因此螺桿壽命延(yan)長(chang)。

(3)德國普(pu)旭(xu)公司的(de)(de)COBRAN系列螺桿(gan)泵,是(shi)制造工(gong)(gong)藝的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)泵,特(te)別適用于化工(gong)(gong)和(he)制藥行業的(de)(de)各工(gong)(gong)藝流程。普(pu)旭(xu)是(shi)世(shi)界上大(da)的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)泵、鼓風機和(he)壓縮機的(de)(de)供應商之一,真(zhen)(zhen)空(kong)泵的(de)(de)質量較(jiao)高,相比其他廠家,在(zai)歐洲市場占有(you)率極高,價格偏(pian)貴。

(4)德國里(li)奇樂(le)的(de)VSA/VSB系列(lie)。VSA為等螺距轉子,市場評(ping)價較好,性能穩(wen)定。VSB系列(lie)事(shi)變(bian)螺距轉子設(she)計(非線型(xing)齒形設(she)計),同(tong)其他(ta)幾家一樣,通(tong)過內壓縮(suo)來改變(bian)泵(beng)(beng)的(de)功耗和排(pai)(pai)氣溫度,不用(yong)兩級壓縮(suo)中間冷卻,單級即(ji)可實現很高(gao)的(de)真(zhen)空(kong)度。在密封(feng)(feng)件(jian)上作了改進(jin),靜態(tai)密封(feng)(feng)元(yuan)件(jian)優(you)選PTFE或者添加有(you)PTFE的(de)密封(feng)(feng)件(jian),動態(tai)密封(feng)(feng)元(yuan)件(jian)在真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)吸入側用(yong)雙密封(feng)(feng)唇,真(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)排(pai)(pai)氣側用(yong)簡單的(de)帶有(you)防止氣體外(wai)溢的(de)密封(feng)(feng)圈,以防固(gu)體物質進(jin)入泵(beng)(beng)內。

(5)日(ri)本的(de)生產(chan)商。日(ri)本是應(ying)用(yong)螺(luo)桿真空泵非(fei)常(chang)多的(de),半(ban)導體和LCD行業應(ying)用(yong)廣(guang)泛,大晃株式會社的(de)吉村將士等很早就在(zai)單頭等螺(luo)桿轉子(zi)(zi)方面申請了專利,在(zai)轉子(zi)(zi)上(shang)作了深入(ru)的(de)研究(jiu)。日(ri)立公司早期也作過螺(luo)桿泵方面的(de)研究(jiu)。

3研究瞻(zhan)望:

干式(shi)螺(luo)桿(gan)真(zhen)空泵國內(nei)的(de)(de)研(yan)究還處在(zai)起始階段,很(hen)多技(ji)術(shu)難題還沒有解決。比如轉子涂層防(fang)腐蝕技(ji)術(shu),降低排氣口的(de)(de)溫(wen)度,增大轉子面(mian)積利用率等(deng)問題仍然很(hen)棘手,當抽(chou)取一(yi)些活潑氣體時,由于排氣溫(wen)度高,性也(ye)是需要設計中考慮的(de)(de),用在(zai)需要控制音(yin)量的(de)(de)場合,如何降噪也(ye)要成為研(yan)究方(fang)向,但其優越的(de)(de)性能(neng)決定了它一(yi)定會在(zai)真(zhen)空獲得設備行業(ye)(ye)占(zhan)主導地(di)位(wei),就像現在(zai)螺(luo)桿(gan)壓縮機(ji)在(zai)行業(ye)(ye)內(nei)的(de)(de)統治地(di)位(wei)一(yi)樣。


關鍵詞: 干式螺桿泵           
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